Производство полупроводниковых компонентов

Участок сборки
При производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем повышенная влажность плохо отражается на процессах микросварки и повышает частоту дефектов. Для маскировки участков схемы перед процессом травления применяются фоточувствительные полимерные соединения, называемые фоторезистами. Из-за своей гигроскопичности эти материалы поглощают влагу, что в свою очередь приводит к дефектам в изготавливаемой схеме и последующему отказу готового прибора.

Участок изготовления пластин
В процессе изготовления пластин на поверхность пластины на центрифуге разбрызгивается проявитель, на пластине растворитель быстро испаряется, охлаждая поверхность пластины. Это приводит к конденсации на поверхности паров воды из воздуха. Избыточная вода на пластине меняет характеристики проявителя. Кроме того, поглощение влаги приводит к набуханию полимера. Регулирование относительной влажности исключает возможность охлаждения поверхности пластины ниже температуры точки росы окружающего воздуха и предотвращает порчу изделия.

Цех фотолитографии
Избыток влаги в помещении цеха фотолитографии приводит к поглощению влаги кремнием, что приводит к недостаточной адгезии фоторезиста, появлению трещин и дефектов поверхности

Более быстрое создание вакуума
При слишком высоком уровне влажности водяные пары замедляют работу вакуумного оборудования, например, крионасоса. При снижении влажности может быть увеличена скорость групповой обработки, что повышает производительность.

Защита оборудования для эпитаксии
Водяные пары конденсируются на охлажденных поверхностях установок эпитаксии, вызывая коррозию компонентов, что приводит к сбоям в работе и замедлению производственного процесса.

Помимо систем регулирования параметров воздушной среды, компания Munters предлагает аппараты Zeol для улавливания выбросов летучих органических соединений (ЛОС) из отработанного воздуха. Отработанный воздух из процессов производства полупроводниковых компонентов содержит большое количество ЛОС. Эти соединения вредны для окружающей среды и здоровья человека и с их выбросами необходимо бороться. Концентратор с цеолитовым ротором позволяет значительно удешевить процесс очистки за счет существенного концентрирования ЛОС перед их уничтожением. 

Для полупроводниковой промышленности, работающей в круглосуточном режиме, основными преимуществами использования роторного концентратора заключаются в высокой надежности, постоянном давлении выпуска и значительной экономии текущих затрат. Системы Munters концентрируют большие объемы отработанных газов, содержащие ЛОС в малых концентрациях, превращая их в небольшой концентрированный поток, который эффективно и экономично подвергается деструкции в окислительном аппарате. Перепад давления в системе невысок, благодаря чему снижается энергопотребление вытяжного вентилятора.

Цеолитовые роторные концентраторы фирмы Munters — лидирующая технология по очистке от выбросов ЛОС. В числе наших заказчиков — некоторые из самых известных мировых компаний, а в настоящий момент в эксплуатации находится более 200 систем.

Компания Munters была инициатором разработки гидрофобного цеолита для поглощения ЛОС. Системы улавливания ЛОС производства Munters могут обеспечить эффективность уничтожения и удаления ЛОС выше 95 %, при этом затраты на топливо снижаются на 30—50 % по сравнению с отдельным окислительным аппаратом.