Halvledartillverkning

Monteringsyta

Vid halvledarproduktion och integrerade kretsar, påverkar för hög luftfuktighet bindningsprocessen negativt och ökar defekter. Ljuskänsliga polymer föreningar sk. fotoresists, används för att maskera kretsledningar för etsningsprocessen. På grund av sin hygroskopiska natur absorberar materialet fukt, vilket resulterar i att de mikroskopiska kretsarna skärs av eller överbryggas och leder till komponentfel.

Fotolitografi rum

Fukt i ett fotolitografirum gör att kiseldioxid absorberar fukt, vilket resulterar i felaktig vidhäftning av fotoresistorer, vilket i sin tur leder till stressfrakturer och ytdefekter

Förutom att tillhandahålla produkter för optimala luftförhållanden, erbjuder Munters även ett sortiment av Zeolprodukter för VOC-reduktion; för rening av utluft med mycket lättflyktiga organiska föroreningar (VOC) i. Vid tillverkningen av halvledare produceras VOC, som måste reduceras då de är skadliga för både miljö och hälsa. En zeolitrotorkoncentrator reducerar kostnaderna kraftigt, genom att effektivt koncentrera VOC först.

För halvledarindustrin med tillverkning dygnet runt, är de största fördelarna med en rotorkoncentrator hög pålitlighet, jämnt flöde av utsläpp med minimala tryckförändringar samt avsevärda besparingar för driften. Munters system koncentrerar stora utsläppsvolymer med låg VOC-koncentration till en smal luftström som billigt och effektivt kan ledas in i en oxidkammare för destruktion. Tryckfallet i systemet är lågt, vilket gör att fläkten drar mindre el.

Munters Zeolite Rotorkoncentratorsystem är den ledande teknologin för VOC-reduktion. Med över 200 system i drift, inkluderar vår installationsbas några av världens mest respekterade företag. Munters banade ny väg i utvecklingen av hydrofobisk zeolit för VOC-adsorption. Munters VOC-reduktionssytem klarar att uppnå 95 % effektivitet i reduktion/destruktion av VOC och samtidigt minska bränslekostnaderna med så mycket som 30-50% jämfört med fristående oxidkammare.