ussatdesa_Semiconductor_738x400.jpg

Halvledartillverkning

Många tillverkningsprocesser för elektronik och halvledare kräver noggrant kontrollerade torra förhållanden.

Närvaro av för hög luftfuktighet/fukt orsakar rost i kretsarna, kondens på ytan av ett mikrochips kretskort samt dåligt fäst fotoresist, vilket leder till driftfel i sammansättningsprocessen för halvledaren. För att uppnå lämpliga tillverkningsförhållanden i torrum och renrum används sorptionsavfuktare.

Luftfuktighetskontroll förebygger:

  • rost i kretsarna
  • kondens på mikrochips kretskortsytor
  • utrustningsförfall
  • dåligt fäst fotoresist

Därför är luftfuktighetskontroll ett måste inom följande områden:

Monteringsyta

Vid halvledarproduktion och integrerade kretsar, påverkar för hög luftfuktighet bindningsprocessen negativt och ökar defekter. Ljuskänsliga polymer föreningar sk. fotoresists, används för att maskera kretsledningar för etsningsprocessen. På grund av sin hygroskopiska natur absorberar materialet fukt, vilket resulterar i att de mikroskopiska kretsarna skärs av eller överbryggas och leder till komponentfel.

Fotolitografi rum

Fukt i ett fotolitografirum gör att kiseldioxid absorberar fukt, vilket resulterar i felaktig vidhäftning av fotoresistorer, vilket i sin tur leder till stressfrakturer och ytdefekter

Förutom att tillhandahålla produkter för optimala luftförhållanden, erbjuder Munters även ett sortiment av Zeolprodukter för VOC-reduktion; för rening av utluft med mycket lättflyktiga organiska föroreningar (VOC) i. Vid tillverkningen av halvledare produceras VOC, som måste reduceras då de är skadliga för både miljö och hälsa. En zeolitrotorkoncentrator reducerar kostnaderna kraftigt, genom att effektivt koncentrera VOC först.

ussatdesa_VOC_Install_PollCont_470x300.jpg

För halvledarindustrin med tillverkning dygnet runt, är de största fördelarna med en rotorkoncentrator hög pålitlighet, jämnt flöde av utsläpp med minimala tryckförändringar samt avsevärda besparingar för driften. Munters system koncentrerar stora utsläppsvolymer med låg VOC-koncentration till en smal luftström som billigt och effektivt kan ledas in i en oxidkammare för destruktion. Tryckfallet i systemet är lågt, vilket gör att fläkten drar mindre el.

Munters Zeolite Rotorkoncentratorsystem är den ledande teknologin för VOC-reduktion. Med över 200 system i drift, inkluderar vår installationsbas några av världens mest respekterade företag. Munters banade ny väg i utvecklingen av hydrofobisk zeolit för VOC-adsorption. Munters VOC-reduktionssytem klarar att uppnå 95 % effektivitet i reduktion/destruktion av VOC och samtidigt minska bränslekostnaderna med så mycket som 30-50% jämfört med fristående oxidkammare.

  • Driftsystem- och motortillverkare

    Driftsystem- och motortillverkare

    Tillverkare av driftsystem och motorer stöter på problem när stora motorer eller driftsystem måste kylas. När utrustningen ökar i storlek, ökar…

    Läs mer
  • Halvledartillverkning

    Halvledartillverkning

    Många tillverkningsprocesser för elektronik och halvledare kräver noggrant kontrollerade torra förhållanden.

    Läs mer
  • Telekom

    Telekom

    Munters kan erbjuda luftbehandling för telekomindustrin i olika tillverknings- och utrymmes applikationer.

    Läs mer
  • TV-skärmar & relaterade produkter

    TV-skärmar & relaterade produkter

    Många industriella tillverkningsprocesser, inklusive tillverkning av TV-skärmar, kräver noggrann luftfuktighetskontroll.

    Läs mer
  • LED-tillverkning

    LED-tillverkning

    Många industriella tillverkningsprocesser, däribland LED-tillverkning, kräver noggrann luftfuktighetskontroll. Tillverkning av komponenter måste…

    Läs mer
  • Litiumbatteritillverkning

    Litiumbatteritillverkning

    Tillverkning av litiumbatterier sker i små laboratoriemiljöer till torrum för storskalig massproduktion. Dessa högenergibatterier måste tillverkas i…

    Läs mer
  • Det här kan vi hjälpa dig med

    Kondensering

    När vatten avdunstar övergår den i vattenånga. När vattenångan kommer i kontakt med kalla ytor, bildas kondens på väggar, tak och produkter. När fuktig luft kondenserar på ytor är risken stor för ökad produktkontaminering med försämrad produktsäkerhet och kvalitet som följd.

    Läs mer

    Korrosion

    Korrosion, eller metalloxidation, är starkt påverkad av närvaro av fukt i luften. En hög relativ luftfuktighet ger ett tunt lager av molekyler av vattenånga som sätter sig på metallytan och därigenom tillför en elektrolyt till korrosionsprocessen.

    Läs mer
  • Expertområden

  • Relaterade produkter

    • MB Serie

      MB systems are tailor-made systems that provide full humidity and…

      Se fler

      GreenDry™ Series

      The GreenDry ™ desiccant units helps customers to precisely control…

      Se fler

      ML- serien Avfuktare

      Avfuktare med inbyggd värmeåtervinningssektor gör aggregaten effekt- och…

      Se fler
    • Visa alla

Vi är experter

Vi kan våra produkter. Vi
kommer att skicka din kontakt info till
någon i ditt land