Yari İletken Üretim

Montaj Alanı
Yarı iletkenler ile entegre devrelerin üretiminde aşırı nem düzeyleri yapıştırma sürecini olumsuz yönde etkilemekte ve kusurları arttırmaktadır. Fotorezist şeklinde adlandırılan ışığa karşı duyarlı polimer bileşkeler, aşındırma işleminde devre hatlarının maskelenmesi için kullanılmaktadır.   Söz konusu bileşkeler nem emici özellikleri nedeniyle kesilen ya da bağlantısı yapılan mikroskobik devre hatlarında meydana gelen nemi emmekte ve devre arızasına yol açmaktadır.

Silikon Devre Levhası Üretimi Alanı
Silikon devre levhasının üretimi sırasında fırıldak tarafından silikon devre levhasına geliştirici madde püskürtülmekte ve silikon devre levhası üzerindeki solventi hızlı bir biçimde buharlaştırarak silikon devre levhası yüzeyinin soğumasını sağlamaktadır. Söz konusu süreç, silikon devre levhası yüzeyindeki havada bulunan su buharının yoğunlaşması ile sonuçlanmaktadır. Silikon devre levhasındaki bu fazla su, geliştirici madde özelliklerinin değişmesine yol açar. Rezist de nemi emerek polimerin şişmesine sebebiyet vermektedir. Bağıl nemin kontrol altına alınması, silikon devre levhası yüzeyinin ortam havasının çiğ noktasından daha düşük olacak şekilde soğuma olasılığını ortadan kaldırmakta ve dolayısıyla yaşanabilecek arıza ve bozuklukların önüne geçmektedir.

Fotolitografi Odası
Fotolitografi odasındaki aşırı nem, silikanın nemi emmesine yol açarak fotorezistin yetersiz düzeyde yapışmasına sebebiyet vermektedir. Bu durumda gerilim kırmaları ve yüzey defoları meydana gelir. 

Vakum Pompasının Daha Kısa Sürede Yavaşlaması
Nem düzeyleri gereken değerden yüksek olduğunda Cyropump gibi vakum ekipmanlarının işleyişi daha büyük miktardaki su buharı yükü nedeniyle yavaşlamaktadır.  RH düzeyleri azaldığında toplu işleme hızı artabilecek ve verimlilik oranı yükseltilebilecektir.

EPI ekipmanının korunması
Su buharı veya nem, epitaksiyal ekipmanların soğuk yüzeylerinde yoğunlaşarak ilgili bileşenlerin aşınmasına yol açmakta ve sistem arızaları ya da proses duraksamaları ile sonuçlanmaktadır. 

Munters, ideal hava koşulları sağlamanın yanı sıra organik uçucu bileşen yüklü egzoz havasının temizlenmesi için bir dizi Zeol Uçucu Organik Bileşen Azaltma ürününü kullanımınıza sunmaktadır.  Yarı iletken üretim süreci, uçucu organik bileşenler ile yüklü bir egzoz havasını meydana getirmektedir. Uçucu organik bileşenler hem sağlık hem de çevre bakımından zararlı olup, miktarlarının azaltılması gerekmektedir. Zeolit bir çarklı yoğunlaştırıcı, öncelikle uçucu organik bileşenleri yoğunlaştırmak yoluyla bu bağlamda karşılaşılabilecek maliyeti büyük ölçüde düşürebilmektedir.

7/24 üretim programı bulunan yarı iletken sektörü için çarklı bir yoğunlaştırıcı sisteminden faydalanılmasının sağlayacağı avantajlar arasında yüksek güvenirlik, minimum basınç değişiklikleri ile birlikte sabit akış egzozu ve işletim maliyetlerinden yapılacak hatırı sayılır tasarruflar bulunmaktadır. Munters sistemi, düşük uçucu organik bileşen konsantrasyonları içeren büyük egzoz hacimlerini yakıcı madde içerisinde etkili ve maliyet etkin bir biçimde ortadan kaldırılabilecek küçük ve konsantre buharlara dönüştürebilmektedir. Sisten çapındaki basınç düşüşü azdır ve  egzoz fanının elektrik kullanımını azaltmaya yardımcı olmaktadır.

Munters Zeolit Çarklı Yoğunlaştırıcı Sistemleri, uçucu organik bileşenlerin azaltılması için öncü bir teknolojidir. Hali hazırda sayısı 200’ü aşkın sisteme sahip kurulum üssümüz, dünyanın en saygın şirketlerinden bazılarını içermektedir. Munters firması, uçucu organik bileşen emilimine yönelik nem çekici zeolit sisteminin gelişimine öncülük etmiştir.  Munters Uçucu Organik Bileşen Azaltma Sistemleri, bağımsız yakıcı maddelere kıyasla yakıt maliyetlerini yaklaşık %30-50 arasında düşürürken >%95 oranında uçucu organik bileşen tahliye verimliliği sağlamaktadır.