ussatdesa_Semiconductor_738x400.jpg

Puolijohteiden valmistus

Monissa puolijohteiden ja elektroniikan valmistusprosesseissa tarvitaan tiukasti hallittuja kuivia olosuhteita.

Liiallinen kosteus aiheuttaa piireissä korroosiota, kondensoitumista mikropiirien pinnoille ja huonoa tarttumista, jolloin puolijohteita ei voi koota. Kuiva- ja puhdastiloihin saadaan tarvittavat olosuhteet absorptioilmankuivaimien avulla.

Kosteuden hallitseminen estää

  • korroosiota piirilevyissä
  • kondensoitumista mikrosirujen pinnassa
  • laitteiden vaurioitumista
  • puutteellista kiinnittymistä.

Muntersin absorptiokuivaimien avulla ilmankosteutta hallitaan puolijohteita valmistettaessa vaadittavalla tavalla. Niiden avulla suhteelliseksi ilmankosteudeksi saadaan jopa 1 % tai vieläkin alhaisempi ulkona vallitsevista olosuhteista riippumatta.

Siksi kosteutta on hallittava seuraavilla alueilla:

Kokoonpanoalue
Kun valmistetaan puolijohteita ja integroituja piirejä, liiallinen kosteus haittaa kiinnittymistä ja kasvattaa vikojen määrää. Etsattaessa käytetään valoherkkiä polymeeriyhdisteitä piirien rajojen peittämiseen. Ne ovat hygroskooppisia, joten ne absorboivat kosteutta, jolloin piirien mikroskoopiset rajat katkeavat tai niihin muodostuu siltoja, jolloin piiristä tulee viallinen.

Piikiekkojen valmistusalue
Kun piikiekkoja valmistetaan, niiden pinnalle suihkutetaan kehitettä, jolloin piikiekon sisältämä liuotinaine haihtuu nopeasti ja kiekon pinta jäähtyy. Tällöin ilmasta kondensoituu vesihöyryä piikiekon pintaan, joten kehittimen ominaisuudet muuttuvat. Lisäksi kosteus saa polymeerin turpoamaan. Kun suhteellinen kosteus hallitaan, piikiekon pinta ei pääse jäähtymään ympäröivän ilman kosteuspisteen alapuolelle. Näin estetään vikaantumiset ja hävikki.

Valolitografiahuone
Jos valolitografiahuoneessa on liian kosteaa, pii imee kosteutta itseensä, jolloin kiinnittyminen on puutteellista sekä aiheutuu rasitusmurtumia ja pintavikoja.

Tyhjiöpumppu toimii nopeammin
Jos ilmankosteus on liian suuri, tyhjiölaitteet, kuten Cryopump, toimivat hitaammin. Kun ilman suhteellista kosteutta vähennetään, eräkäsittelynopeutta voidaan lisätä, jolloin tuottavuus paranee.

EPI-laitteiden suojaaminen
Jos epitaksiaalilaitteiden jäähdytettyyn pintaan kondensoituu kosteutta, komponentteihin tulee korroosiota, jolloin aiheutuu toimintavirheitä ja prosessi hidastuu.

Ilman ihanteelliseksi muuttamisen lisäksi Munters tarjoaa zeoliittiin perustuvia tuotteita joilla voi poistaa VOC-yhdisteitä poistoilmasta. Kun valmistetaan puolijohteita, prosessin poistoilma sisältää VOC-yhdisteitä. Ne ovat haitallisia terveydelle ja ympäristölle, joten ne on poistettava. Zeoliittiroottorikeskittimen avulla voidaan säästää kustannuksia, kun VOC-yhdisteet poistetaan. 

ussatdesa_VOC_Install_PollCont_470x300.jpg

Kun puolijohteita valmistetaan vuorokauden ympäri kaikkina viikon päivinä, roottorikeskittimen etuja ovat luotettavuus, vakaa poistovirtaus, vähäiset paineenvaihtelut ja käyttökustannusten pysyminen kurissa. Muntersin järjestelmät tiivistävät VOC-yhdisteet pieniksi virroiksi, jotka voidaan tuhota hapettimessa kustannustehokkaasti. Painehäviö järjestelmässä jää vähäiseksi, joten poistopuhallin kuluttaa vähemmän sähköä.

Muntersin zeoliittiroottorikeskitinjärjestelmät edustavat johtavaa haihtuvien orgaanisten yhdisteiden (VOC) poistamistekniikkaa. Tällaisia järjestelmiä on käytössä jo yli 200, joten olemme tällä alalla yksi maailman kunnioitetuimmista yrityksistä. Munters näytti muille suuntaan, kun VOC-yhdisteiden poistamiseksi kehitettiin hydrofobista zeoliittia. Muntersin VOC-yhdisteiden poistamisjärjestelmien avulla saavutetaan yli 95 %:n VOC-tuhoamisteho, ja polttoainekustannuksia säästyy jopa 30-50 % itsenäisiin hapettimiin verrattuna.

Puolijohteiden valmistus tapaustutkimuksia

  • Voimme auttaa sinua

    Elektroniikan suojaaminen

    Puolijohteet ja elektroniikka vaativat usein tiukasti hallittuja kuivia olosuhteita. Liiallinen kosteus aiheuttaa piireissä korroosiota, kondensoitumista mikropiirien pinnoille ja huonoa tarttumista, jolloin puolijohteet eivät toimi. Muntersin absorptioilmankuivaimien avulla saadaan aikaan oikeat olosuhteet.

    Lue lisää

    Tutkimus- ja tuotekehityslaboratoriot sekä puhdastilat

    Suhteellinen ilmankosteus pidetään muuttumattomana laboratorioissa, puhdastiloissa ja laminaarivirtauskaapeissa Muntersin absorptiokuivausratkaisujen avulla, vaikka ympäröivät olosuhteet muuttuisivat. Hygroskooppisesti aktiiviset aineosat eivät ime itseensä kosteutta, ja tuote pysyy vakaana.

    Lue lisää

    Kondensoituminen

    Kun vesi haihtuu, se muuttuu vesihöyryksi. Joutuessaan kosketuksiin kylmän pinnan kanssa, vesihöyry kondensoituu seinille, alakattoon ja tuotteiden pintaan. Kun kosteaa ilmaa kondensoituu pinnoille, tuotteiden kontaminoitumisen sekä turvallisuuden ja laadun heikkenemisen vaara lisääntyy.

    Lue lisää

    Korroosio

    Ilmankosteus vaikuttaa voimakkaasti korroosioon eli metallin oksidoitumiseen. Jos suhteellinen ilmankosteus on suuri, metallin pinnalle asettuu ohut vesimolekyylikerros, joka toimii elektrolyyttinä korroosiolle.

    Lue lisää
  • Osaamisalueet

  • Liittyvät tuotteet

    • HCD Series

      Munters HCD series desiccant dehumidifiers are designed to efficiently…

      Katso lisää

      VariMax™ IFRG (Indirect-Fired Recirculating Gas) Heaters

      VariMax™ IFRG (Indirect-fired Recirculating Gas) Heater combines…

      Katso lisää

      VariMax™ OTH (Once-Through Heater)

      The VariMax™ OTH (Once-Through Heater) is a high efficiency, industrial,…

      Katso lisää
    • Näytä kaikki

Olemme

Olemme asiantuntijoita ja
tunnemme tuotteemme. Voit soittaa meille 020 776 8230
tai laittaa viestiä tästä.