Puolijohteiden valmistus

Kokoonpanoalue
Kun valmistetaan puolijohteita ja integroituja piirejä, liiallinen kosteus haittaa kiinnittymistä ja kasvattaa vikojen määrää. Etsattaessa käytetään valoherkkiä polymeeriyhdisteitä piirien rajojen peittämiseen. Ne ovat hygroskooppisia, joten ne absorboivat kosteutta, jolloin piirien mikroskoopiset rajat katkeavat tai niihin muodostuu siltoja, jolloin piiristä tulee viallinen.

Piikiekkojen valmistusalue
Kun piikiekkoja valmistetaan, niiden pinnalle suihkutetaan kehitettä, jolloin piikiekon sisältämä liuotinaine haihtuu nopeasti ja kiekon pinta jäähtyy. Tällöin ilmasta kondensoituu vesihöyryä piikiekon pintaan, joten kehittimen ominaisuudet muuttuvat. Lisäksi kosteus saa polymeerin turpoamaan. Kun suhteellinen kosteus hallitaan, piikiekon pinta ei pääse jäähtymään ympäröivän ilman kosteuspisteen alapuolelle. Näin estetään vikaantumiset ja hävikki.

Valolitografiahuone
Jos valolitografiahuoneessa on liian kosteaa, pii imee kosteutta itseensä, jolloin kiinnittyminen on puutteellista sekä aiheutuu rasitusmurtumia ja pintavikoja.

Tyhjiöpumppu toimii nopeammin
Jos ilmankosteus on liian suuri, tyhjiölaitteet, kuten Cryopump, toimivat hitaammin. Kun ilman suhteellista kosteutta vähennetään, eräkäsittelynopeutta voidaan lisätä, jolloin tuottavuus paranee.

EPI-laitteiden suojaaminen
Jos epitaksiaalilaitteiden jäähdytettyyn pintaan kondensoituu kosteutta, komponentteihin tulee korroosiota, jolloin aiheutuu toimintavirheitä ja prosessi hidastuu.

Ilman ihanteelliseksi muuttamisen lisäksi Munters tarjoaa zeoliittiin perustuvia tuotteita joilla voi poistaa VOC-yhdisteitä poistoilmasta. Kun valmistetaan puolijohteita, prosessin poistoilma sisältää VOC-yhdisteitä. Ne ovat haitallisia terveydelle ja ympäristölle, joten ne on poistettava. Zeoliittiroottorikeskittimen avulla voidaan säästää kustannuksia, kun VOC-yhdisteet poistetaan. 

Kun puolijohteita valmistetaan vuorokauden ympäri kaikkina viikon päivinä, roottorikeskittimen etuja ovat luotettavuus, vakaa poistovirtaus, vähäiset paineenvaihtelut ja käyttökustannusten pysyminen kurissa. Muntersin järjestelmät tiivistävät VOC-yhdisteet pieniksi virroiksi, jotka voidaan tuhota hapettimessa kustannustehokkaasti. Painehäviö järjestelmässä jää vähäiseksi, joten poistopuhallin kuluttaa vähemmän sähköä.

Muntersin zeoliittiroottorikeskitinjärjestelmät edustavat johtavaa haihtuvien orgaanisten yhdisteiden (VOC) poistamistekniikkaa. Tällaisia järjestelmiä on käytössä jo yli 200, joten olemme tällä alalla yksi maailman kunnioitetuimmista yrityksistä. Munters näytti muille suuntaan, kun VOC-yhdisteiden poistamiseksi kehitettiin hydrofobista zeoliittia. Muntersin VOC-yhdisteiden poistamisjärjestelmien avulla saavutetaan yli 95 %:n VOC-tuhoamisteho, ja polttoainekustannuksia säästyy jopa 30-50 % itsenäisiin hapettimiin verrattuna.