Fabricação de Semicondutores

Área de Montagem

Na produção de semicondutores e circuitos integrados, a  umidade excessiva afeta adversamente o processo de colagem e aumenta a ocorrência de defeitos. Compostos de polímeros fotossensíveis chamados fotorresistências são utilizados para mascarar as linhas de circuito para o processo de gravação. Devido à sua natureza higroscópica eles absorvem a umidade, resultando em linhas de circuitos microscópicos sendo cortadas ou em ponte, levando a falha do circuito.

Área de fabricação do wafer

Durante o fabrico do wafer, o spray revelador é  pulverizado sobre a superfície, fazendo com que o solvente presente evapore rapidamente, arrefecendo assim a superfície. Isto resulta na condensação do vapor de água do ar sobre a superfície. Esta água extra no wafer provoca mudanças nas características do revelador. A resistência também absorve a umidade fazendo com que o polímero inche. Controlando a umidade relativa elimina-se a possibilidade de arrefecimento da superfície inferior do wafer inferior ao ponto de orvalho do ar circundante, evitando assim  deterioração e falhas. 

Ambientes de Fotolitografia

A umidade excessiva dentro de uma sala de fotolitografia faz com que a sílica absorva a umidade, resultando na adesão indevida de fotorresistências, levando a fraturas de estresse e defeitos de superfície.

Bombas de vácuo

Quando os níveis de umidade são muito altos, a operação de equipamentos de vácuo, como a bomba criogênica, é retardada devido à grande carga de vapor de água. Quando os níveis de umidade no ar são reduzidos, a velocidade de processamento do lote é capaz de aumentar, resultando na melhoria da produtividade.

Para a proteção de equipamentos de EPI

O vapor de água ou umidade condensa em superfícies de equipamentos refrigerados epiaxiais, fazendo com que ocorra a corrosão de componentes, resultando em falha de operação e processo lento. 

Além da criação de condições de ar ideais, a Munters oferece uma gama de produtos purificadores Zeol VOC para limpar ar carregado de escape com Compostos Orgânicos Voláteis (VOC). O processo de fabricação de semicondutores produz emissão de  ar carregado de VOCs. VOCs são prejudiciais à saúde e ao meio ambiente e devem necessariamente ser reduzidos. Um rotor concentrador zeólito pode reduzir muito esse custo, através de uma eficaz concentração inicial dos VOCs. 

Para a indústria de semicondutores, com cronogramas ininterruptos de fabricação, os principais benefícios da utilização de um sistema de rotor concentrador são a alta confiabilidade, fluxo constante de escape com flutuações de pressão mínima e uma economia considerável nos custos operacionais. O sistema Munters concentra volumes grandes de escape contendo baixas concentrações de compostos orgânicos voláteis em um pequeno fluxo concentrado que pode ser destruído em um  meio oxidante de forma  eficiente e rentável. A queda de pressão através do sistema é baixa, o que ajuda a reduzir o uso de eletricidade.

Os sistemas concentradores Munters Zeolite Rotor são a principal tecnologia para redução de compostos orgânicos voláteis (VOC). Com mais de 200 sistemas atualmente em serviço, a nossa base instalada inclui algumas das empresas mais respeitadas do mundo. Munters foi pioneira no desenvolvimento dos zeólitos hidrofóbicos para adsorção de VOCs. A redução de COV com os  sistemas Munters  pode atingir> 95%  de eficiência de remoção e destruição de compostos voláteis (DRE), reduzindo também os custos de combustível em até 30-50% em comparação com os oxidantes autônomos.