ussatdesa_Semiconductor_738x400.jpg

Produkcja półprzewodników

Wiele procesów przy produkcji półprzewodników i urządzeń elektronicznych wymaga ściśle kontrolowanego, suchego środowiska pracy.

Obecność nadmiaru wilgoci powoduje korozję styków, kondensację na powierzchni obwodów mikrochipu oraz nieprawidłowe przywieranie fotorezystorów, przez co dochodzi do awarii podczas procesu montażu półprzewodników.  Osuszacze sorpcyjne zapewniają precyzyjną kontrolę poziomu wilgotności, zapewniając idealne warunki produkcji w tzw. pomieszczeniach suchych i pomieszczeniach czystych. 

Kontrola wilgotności zapobiega:

  • korozji połączeń
  • kondensacji na powierzchni obwodów mikrochipu
  • degradacji urządzeń
  • niewłaściwemu przywieraniu fotorezystu


Dlatego kontrola wilgotności jest niezbędna w następujących obszarach: 

Obszar montażu
Podczas produkcji półprzewodników i obwodów zintegrowanych nadmiar wilgoci wpływa niekorzystnie na proces łączenia i zwiększa liczbę usterek. Światłoczułe związki polimerowe zwane fotorezystem używane są do osłaniania obwodów w procesie wytrawiania. Z uwagi na swoją higroskopijną naturę, materiał ten absorbuje wilgoć, powodując przecięcie lub złączenie mikroskopijnych obwodów i w efekcie usterkę.

Obszar produkcji płytek półprzewodnikowych
Podczas produkcji płytek, wywoływacz rozpylany jest na powierzchni płytki, powodując szybkie wyparowanie znajdującego się tam rozpuszczalnika, dzięki czemu powierzchnia płytki zostaje schłodzona. Powoduje to kondensację pary wodnej z powietrza na powierzchni płytki. Ta dodatkowa woda powoduje zmianę charakterystyki wywoływacza.  Absorpcja wilgoci powoduje również pęcznienie polimerów. Kontrolowanie wilgotności względnej eliminuje możliwość schłodzenia powierzchni płytki do temperatury niższej niż punkt rosy otaczającego powietrza, zapobiegając usterkom i psuciu płytek. 

Pomieszczenie do fotolitografii
Nadmiar wilgoci w pomieszczeniu do fotolitografii powoduje wchłanianie przez dwutlenek krzemu wilgoci, co skutkuje niewłaściwym przywieraniem fotorezystorów, powodującym złamanie przeciążeniowe i defekty powierzchni.

Szybsza praca pomp próżniowych
Kiedy poziom wilgoci jest zbyt duży, praca urządzeń próżniowych takich jak Cryopump jest spowolniona z uwagi na dużą ilość pary wodnej. Po obniżeniu poziomu wilgotności względnej, możliwe jest zwiększenie prędkości przetwarzania i osiągnięcie wyższej wydajności produkcji.


Ochrona urządzeń EPI
Para wodna lub wilgoć kondensują się na chłodnych powierzchniach urządzeń do epitaksji, powodując korozję podzespołów, a przez to usterki i spowolnienie procesów. 

Poza stworzeniem optymalnego klimatu, Munters proponuje serię produktów zeolitowychograniczających ilość LZO do oczyszczania powietrza wylotowego z lotnych związków organicznych (LZO). W procesie produkcji półprzewodników powietrze zanieczyszczone zostaje LZO. Związki te są szkodliwe dla zdrowia i środowiska naturalnego i należy je usunąć.  Koncentrator z rotorem zeolitowym może w znacznym stopniu zredukować koszt takiego procesu, skutecznie koncentrując LZO przed ich usunięciem. 

ussatdesa_VOC_Install_PollCont_470x300.jpg

Dla branży półprzewodnikowej, w której produkcja trwa 24 h na dobę, największymi korzyściami z wykorzystania systemu koncentratora są: większa niezawodność, stały przepływ gazów wylotowych przy minimalnych wahaniach ciśnienia i znaczne obniżenie kosztów eksploatacyjnych. Systemy Munters koncentrują duże ilości gazów wylotowych o małej zawartości LZO w niewielki, skoncentrowany strumień skutecznie i ekonomicznie niszczony w utleniaczu. Spadek ciśnienia w systemie jest niewielki, zmniejszając zużycie energii przez wentylator wylotowy.

Systemy koncentratorów z rotorem zeolitowym Munters to wiodąca technologia usuwania LZO. Wśród ponad 200 obecnie użytkowanych systemów zainstalowanych przez nas są takie zamówione przez najbardziej uznane firmy.

Firma Munters jako pierwsza opracowała hydrofobowy zeolit do adsorpcji LZO. Systemy Munters obniżające poziom LZO pozwalają uzyskać >95% skuteczności usuwania LZO, zmniejszając przy tym koszty paliwa o 30 do 50% w porównaniu z utleniaczami wolnostojącymi.

  • Produkcja silników i napędów

    Produkcja silników i napędów

    Producenci silników i napędów stają przed dylematem, starając się schłodzić duże silniki lub napędy. Ilość wytwarzanego przez nie ciepła rośnie…

    Więcej na ten temat
  • Produkcja półprzewodników

    Produkcja półprzewodników

    Wiele procesów przy produkcji półprzewodników i urządzeń elektronicznych wymaga ściśle kontrolowanego, suchego środowiska pracy.

    Więcej na ten temat
  • Telekomunikacja

    Telekomunikacja

    Munters zapewnia uzdatnianie powietrza w branży telekomunikacyjnej w różnych zastosowaniach.

    Więcej na ten temat
  • Ekrany telewizorów i podobne produkty

    Ekrany telewizorów i podobne produkty

    Wiele procesów produkcji przemysłowej, w tym produkcja ekranów telewizorów, wymaga precyzyjnej kontroli wilgotności.

    Więcej na ten temat
  • Produkcja diod LED

    Produkcja diod LED

    Wiele procesów produkcji przemysłowej, w tym produkcja diod LED, wymaga precyzyjnej kontroli wilgotności. Wytwarzane części muszą być chronione przed…

    Więcej na ten temat
  • Pomieszczenia do produkcji baterii litowych

    Pomieszczenia do produkcji baterii litowych

    Produkcja baterii litowych odbywa się zarówno w niewielkich laboratoriach, jak i w dużych tzw. pomieszczeniach suchych do produkcji na skalę masową.

    Więcej na ten temat

Produkcja półprzewodników studiów przypadku

  • W czym możemy pomóc

    Kondensacja

    Parująca woda zmienia się w parę wodną. Po zetknięciu z chłodną powierzchnią, na ścianach, sufitach i produktach, para zmienia się w krople wody.

    Więcej na ten temat

    Korozja

    Korozja, czyli inaczej utlenianie metalu, jest w dużej mierze uzależniona od obecności wilgoci w powietrzu.

    Więcej na ten temat
  • Dziedziny wiedzy fachowej

  • Produkty powiązane

    • MB Series

      MB systems are tailor-made systems that provide full humidity and…

      Zobacz więcej

      GreenDry™ Series

      The GreenDry ™ desiccant units helps customers to precisely control…

      Zobacz więcej

      Seria ML

      Doskonałe, wszechstronne urządzenia z połączonym higrostatem Jako opcje…

      Zobacz więcej
    • Pokaż wszystko

Pozwól, że pomożemy

Znamy nasze produkty. Przekażemy <br/>Państwa dane kontaktowe<br/>przedstawicielowi w Państwa kraju.