Produkcja półprzewodników

Obszar montażu
Podczas produkcji półprzewodników i obwodów zintegrowanych nadmiar wilgoci wpływa niekorzystnie na proces łączenia i zwiększa liczbę usterek. Światłoczułe związki polimerowe zwane fotorezystem używane są do osłaniania obwodów w procesie wytrawiania. Z uwagi na swoją higroskopijną naturę, materiał ten absorbuje wilgoć, powodując przecięcie lub złączenie mikroskopijnych obwodów i w efekcie usterkę.

Obszar produkcji płytek półprzewodnikowych
Podczas produkcji płytek, wywoływacz rozpylany jest na powierzchni płytki, powodując szybkie wyparowanie znajdującego się tam rozpuszczalnika, dzięki czemu powierzchnia płytki zostaje schłodzona. Powoduje to kondensację pary wodnej z powietrza na powierzchni płytki. Ta dodatkowa woda powoduje zmianę charakterystyki wywoływacza.  Absorpcja wilgoci powoduje również pęcznienie polimerów. Kontrolowanie wilgotności względnej eliminuje możliwość schłodzenia powierzchni płytki do temperatury niższej niż punkt rosy otaczającego powietrza, zapobiegając usterkom i psuciu płytek. 

Pomieszczenie do fotolitografii
Nadmiar wilgoci w pomieszczeniu do fotolitografii powoduje wchłanianie przez dwutlenek krzemu wilgoci, co skutkuje niewłaściwym przywieraniem fotorezystorów, powodującym złamanie przeciążeniowe i defekty powierzchni.

Szybsza praca pomp próżniowych
Kiedy poziom wilgoci jest zbyt duży, praca urządzeń próżniowych takich jak Cryopump jest spowolniona z uwagi na dużą ilość pary wodnej. Po obniżeniu poziomu wilgotności względnej, możliwe jest zwiększenie prędkości przetwarzania i osiągnięcie wyższej wydajności produkcji.

Ochrona urządzeń EPI
Para wodna lub wilgoć kondensują się na chłodnych powierzchniach urządzeń do epitaksji, powodując korozję podzespołów, a przez to usterki i spowolnienie procesów. 

Poza stworzeniem optymalnego klimatu, Munters proponuje serię produktów zeolitowychograniczających ilość LZO do oczyszczania powietrza wylotowego z lotnych związków organicznych (LZO). W procesie produkcji półprzewodników powietrze zanieczyszczone zostaje LZO. Związki te są szkodliwe dla zdrowia i środowiska naturalnego i należy je usunąć.  Koncentrator z rotorem zeolitowym może w znacznym stopniu zredukować koszt takiego procesu, skutecznie koncentrując LZO przed ich usunięciem. 

Dla branży półprzewodnikowej, w której produkcja trwa 24 h na dobę, największymi korzyściami z wykorzystania systemu koncentratora są: większa niezawodność, stały przepływ gazów wylotowych przy minimalnych wahaniach ciśnienia i znaczne obniżenie kosztów eksploatacyjnych. Systemy Munters koncentrują duże ilości gazów wylotowych o małej zawartości LZO w niewielki, skoncentrowany strumień skutecznie i ekonomicznie niszczony w utleniaczu. Spadek ciśnienia w systemie jest niewielki, zmniejszając zużycie energii przez wentylator wylotowy.

Systemy koncentratorów z rotorem zeolitowym Munters to wiodąca technologia usuwania LZO. Wśród ponad 200 obecnie użytkowanych systemów zainstalowanych przez nas są takie zamówione przez najbardziej uznane firmy.

Firma Munters jako pierwsza opracowała hydrofobowy zeolit do adsorpcji LZO. Systemy Munters obniżające poziom LZO pozwalają uzyskać >95% skuteczności usuwania LZO, zmniejszając przy tym koszty paliwa o 30 do 50% w porównaniu z utleniaczami wolnostojącymi.