ussatdesa_Semiconductor_738x400.jpg

Halfgeleider Productie

Vele halfgeleider en elektronica processen en bewerkingen vereisen een zorgvuldig gecontroleerde droge omgeving.

Vele halfgeleider en elektronica processen en bewerkingen vereisen een zorgvuldig geregelde droge omgeving. De aanwezigheid van een teveel aan vocht veroorzaakt corrosie van de "circuit points", condensatie op circuitoppervlakken van microchips en hechtingsproblemen van photoresisten die leiden tot productie storingen van het halfgeleider-assemblage proces. Om te zorgen voor goede werkomstandigheden in droge en schone ruimten, worden ontvochtigers gebruikt.

  • Vochtbeheersing voorkomt:

  • Corrosie van de "circuit points"

  • Condensatie op circuitoppervlakken van microchips

  • Aantasting van apparatuur

  • Hechtingsproblemen van photoresisten

Assembly Area
In the production of semiconductors and integrated circuits, excessive moisture adversely effects the bonding process and increases defects. Photosensitive polymer compounds called photoresists are used to mask circuit lines for the etching process. Due to its hygroscopic nature, this material absorbs moisture resulting in the microscopic circuits being cut or bridged, leading to component failure.

Wafer Fabrication Area
During wafer manufacture, the spinners spray developer on the wafer surface, causing the solvent present on the wafer to evaporate rapidly, thereby cooling the wafer surface. This results in condensation of water vapor from the air on the wafer surface. This extra water on the wafer causes characteristics of the developer to change.  Moisture absorption also causes the polymer to swell. Controlling relative humidity eliminates the possibility of cooling the wafer's surface lower than the dew point of the ambient air, thus preventing failure and spoilage.

Photolithography Room
Excessive moisture within a photolithography room causes the silica to absorb moisture, resulting in improper adhesion of photoresistors, leading to stress fractures and surface defects.

Faster Vacuum Pump-Down
When humidity levels are too high, operation of vacuum equipment, like Cryopump, is slowed down due to the large water vapor load. When the RH levels are reduced, batch processing speeds can be increased, resulting in improved productivity.


Protection of EPI equipment
Water vapor or moisture condenses on chilled surfaces of epitaxial equipment, causing components to corrode, resulting in operation failure and process slow down.

 

In addition to creating optimal air conditions, Munters offers a range of Zeol VOC Abatement products to clean exhaust air laden with Volatile Organic Compounds (VOC). The semiconductor manufacturing process produces exhaust air laden with VOC’s.  These VOC’s are harmful to health and the environment, and need to be abated.  A zeolite rotor concentrator can greatly reduce the cost of that process, by effectively concentrating the VOC’s prior to abatement.

ussatdesa_VOC_Install_PollCont_470x300.jpg

Voor de halfgeleiderindustrie, met 24/7 productieschema’s, zijn de belangrijkste voordelen van het gebruik van een rotor concentrator systeem hoge betrouwbaarheid, constante luchtstroom met minimale drukfluctuaties en aanzienlijke besparingen op operationele kosten. Het systeem van Munters concentreert grote volumes afvoerlucht die lage concentraties aan VOS bevatten in een kleine geconcentreerde stroom die efficiënt en kosteneffectief vernietigd kan worden in een verbrandingsoven. De drukval door het systeem is laag, waardoor het elektriciteitsverbruik van de afzuigventilator vermindert.

De Zeolite Rotor Concentrator Systemen van Munters zijn de toonaangevende technologie voor de verwijdering van vluchtige organische stoffen (VOS). Met meer dan 200 systemen momenteel in onze service, omvat onze install base een aantal van 's werelds meest gerespecteerde bedrijven. Munters was pionier in de ontwikkeling van het hydrofobe zeoliet voor VOS adsorptie. Het VOS Verwijderingssysteem van Munters kan >95% VOS Vernietigings- en Verwijderingsrendement bereiken, terwijl het eveneens de brandstofkosten vermindert met maar liefst 30-50% ten opzichte van standalone verbrandingsovens.

SEGMENTEN binnen Elektronica

  • Drive & Motor Fabricage

    Drive & Motor Fabricage

    Motor en aandrijving fabrikanten staan ​​voor een dilemma wanneer het proberen om grote motoren of aandrijvingen koelen. Al hun apparatuur…

    lees meer
  • Halfgeleider Productie

    Halfgeleider Productie

    Vele halfgeleider en elektronica processen en bewerkingen vereisen een zorgvuldig gecontroleerde droge omgeving.

    lees meer
  • Telecommunicatie

    Telecommunicatie

    Munters biedt de telecommunicatiesector luchtbehandeling voor verschillende verwerkings- en ruimtetoepassingen .

    lees meer
  • TV, Schermen & aanverwante artikelen

    TV, Schermen & aanverwante artikelen

    Vele industriële productieprocessen, waaronder de productie van TV-schermen, vereisen een nauwkeurige vochtigheidscontrole.

    lees meer
  • LED Productie

    LED Productie

    Vele industriële productieprocessen waaronder LED productie, vereisen precieze vochtigheidsbeheersing. Productiecomponenten moeten beschermd worden…

    lees meer
  • Productie van Lithium Batterijen

    Productie van Lithium Batterijen

    De productie van lithium batterijen vindt plaats in kleine laboratorium omgevingen tot grootschalige droge productie ruimten.

    lees meer

Halfgeleider Productie Case Studies

  • Wij kunnen u helpen met

    Condensatie

    Wanneer water verdampt vormt zich waterdamp. Als deze waterdamp in aanraking komt met koude oppervlakken, drupt condensatie van muren, plafonds, leidingen en producten.

    lees meer

    Corrosie

    Corrosie, of de oxidatie van metaal, wordt sterk beïnvloed door de aanwezigheid van vocht in de lucht.

    lees meer
  • Expertisegebieden

  • Verwante producten

    • MB Series

      MB systems are tailor-made systems that provide full humidity and…

      Bekijk meer

      GreenDry™ Series

      The GreenDry ™ desiccant units helps customers to precisely control…

      Bekijk meer

      ML serie

      Uitstekende all-round units met geïntegreerde hygrostaat. Condensatie…

      Bekijk meer
    • alles weergeven

Wij zijn experts

Wij kennen onze producten. We zullen uw contact informatie aan iemand in uw land doorsturen.