ussatdesa_Semiconductor_738x400.jpg

Halvlederproduktion

Mange produktionsprocesser og operationer, der involverer halvledere og elektronik, kræver tørre og meget kontrollerede forhold.

Tilstedeværelsen af for høj luftfugtighed/fugt forårsager korrosion af kredsløb, kondens på mikrochips kredsløbsoverflade og dårlig vedhæftning af fotoresist, hvilket forårsager driftsfejl i halvleder-montageprocessen. For at skabe de rette arbejdsforhold i tørre og sterile rum bruger man sorptionsffugtere.

Fugtregulering forhindrer:

  • Korrosion af kredsløb

  • Kondens på mikrochips kredsløbsoverflade

  • Forfald af udstyr

  • Dårlig vedhæftning af fotoresist

Derfor er fugtregulering en absolut nødvendighed inden for følgende områder:

Monteringsområde

Ved produktionen af halvledere og integrerede kredsløb har en for høj mængde fugt en negativ påvirkning på bindingsprocessen og øger antallet af fejl. Lysfølsomme polymersammensætninger kaldet fotoresist anvendes til at maskere kredsløb i den ætsende proces. På grund af den hygroskopiske natur absorberer de fugt, hvilket resulterer i, at de mikroskopiske kredsløb bliver afskårne eller forbundne med kredsløbsfejl til følge.

 

Fotolitografi-rum

Overskydende fugt i fotolitografi-rum medfører, at materialet begynder at optage fugt, hvilket forårsager utiltrækkelig tilhæftning af den fotoresistente belægning. Den manglende belægning resulterer i overfladedefekter og små revner.

Højere effektivitet på vacuumpumper

Ved høj luftfugtighed vil vacuumudstyr, som f.eks. Cryo-pumper, arbejde med lavere effektivitet pga. den høje fugtbelastning. Når en lavere luftfugtighed sikres, kan proceshastigheden øges, hvilket udmønter sig i forbedret produktivitet.

Beskyttelse af EPI-udstyr

Vanddampe og fugt kondenserer på kolde overflader på epitaksalt udstyr, hvilket får komponenterne til at korrodere. Det bevirker både fejl i produktionen og langsommere produktion.

 

Udover at skabe optimale luftforhold tilbyder Munters et udvalg af zeolit produkter til reduktion af VOC (Volatile Organic Compounds) til at rense udledningsluft, der er belastet med VOC, som bl.a. bliver produceret under produktion af halvledere. VOC er skadeligt for helbredet og miljøet og kræves mindsket. Et zeolit rotorkoncentrationsanlæg kan reducere omkostningerne meget ved effektivt at koncentrere VOC'erne først.

ussatdesa_VOC_Install_PollCont_470x300.jpg

I halvlederindustrien med produktion døgnet rundt er de største fordele ved et rotorkoncentrationsanlæg høj pålidelighed, jævn strømning af udledningsluft med minimale trykforandringer og betydelige besparelser af driftsomkostningerne. Munters' system koncentrerer store mængder udledningsluft med lave koncentrationer af VOC til en lille koncentreret luftstrøm, som billigt og effektivt kan destrueres i en oxidator. Trykfaldet i systemet er lavt, hvilket gør, at udledningsventilatoren bruger mindre elektricitet.

Munters zeolit rotorkoncentrationssystemer er den ledende teknologi inden for reduktion af VOC. Med flere end 200 systemer i drift verden over inkluderer vores installationsbase nogle af verdens mest respekterede virksomheder. Munters banede vejen for udviklingen af hydrofobisk zeolit til VOC-adsorption. Munters VOC Abatement systemer kan opnå højere end 95% VOC Destruction Removal Efficiency (DRE) og reducerer samtidig brændstofudgifterne med så meget som 30-50% sammenlignet med stand-alone oxidatorer.

SEGMENTER INDEN FOR ELEKTRONIK

  • Motor- & drevfremstilling

    Motor- & drevfremstilling

    Producenter af motorer og drev har et problem, når store motorer og drev skal køles. Varmeudviklingen fra produktet stiger mere end ligefremt…

    Læs mere
  • Halvlederproduktion

    Halvlederproduktion

    Mange produktionsprocesser og operationer, der involverer halvledere og elektronik, kræver tørre og meget kontrollerede forhold.

    Læs mere
  • Telekommunikation

    Telekommunikation

    Munters kan tilbyde luftbehandling til forskellige proces- og pladsanvendelser inden for telekommunikationsindustrien.

    Læs mere
  • Tv-skærme og tilhørende produkter

    Tv-skærme og tilhørende produkter

    Mange industrielle produktionsprocesser, inklusive produktion af tv-skærme, kræver nøjagtig fugtregulering.

    Læs mere
  • LED-produktion

    LED-produktion

    Mange industrielle produktionsprocesser, inklusive LED-produktion, kræver nøjagtig fugtregulering. Produktionsanlæg skal beskyttes mod fugtrelateret…

    Læs mere
  • Lithiumbatterier

    Lithiumbatterier

    Produktion af lithiumbatterier finder sted i alt fra små laboratoriemiljøer og op til omfattende masseproduktionsrum.

    Læs mere
  • Vi kan hjælpe dig med

    Kondens

    Når vand fordamper, bliver det til vanddamp. Når denne vanddamp kommer i kontakt med kolde overflader, dannes der kondens på vægge, lofter, rør og produkter.

    Læs mere

    Korrosion

    Korrosion, eller oxidering af metal, er stærkt påvirket af tilstedeværelsen af fugt i luften.

    Læs mere
  • Ekspertområder

  • Relaterede produkter

    • GreenDry™ Series

      The GreenDry ™ desiccant units helps customers to precisely control…

      Se mere

      ML serien

      All-round affugtere med mulighed for indbygget hygrostat. Affugterne kan…

      Se mere

      MCD serien

      MCD- (Munters Configurable Dehumidifier) affugterne er baseret på det…

      Se mere
    • Vis alle

Vi er eksperter

Vi kender vore produkter. Lad os
videresende din forespørgsel til
din lokale kontaktperson.