Halvlederproduktion

Monteringsområde

Ved produktionen af halvledere og integrerede kredsløb har en for høj mængde fugt en negativ påvirkning på bindingsprocessen og øger antallet af fejl. Lysfølsomme polymersammensætninger kaldet fotoresist anvendes til at maskere kredsløb i den ætsende proces. På grund af den hygroskopiske natur absorberer de fugt, hvilket resulterer i, at de mikroskopiske kredsløb bliver afskårne eller forbundne med kredsløbsfejl til følge.

Fotolitografi-rum

Overskydende fugt i fotolitografi-rum medfører, at materialet begynder at optage fugt, hvilket forårsager utiltrækkelig tilhæftning af den fotoresistente belægning. Den manglende belægning resulterer i overfladedefekter og små revner.

Højere effektivitet på vacuumpumper

Ved høj luftfugtighed vil vacuumudstyr, som f.eks. Cryo-pumper, arbejde med lavere effektivitet pga. den høje fugtbelastning. Når en lavere luftfugtighed sikres, kan proceshastigheden øges, hvilket udmønter sig i forbedret produktivitet.

Beskyttelse af EPI-udstyr

Vanddampe og fugt kondenserer på kolde overflader på epitaksalt udstyr, hvilket får komponenterne til at korrodere. Det bevirker både fejl i produktionen og langsommere produktion.

Udover at skabe optimale luftforhold tilbyder Munters et udvalg af zeolit produkter til reduktion af VOC (Volatile Organic Compounds) til at rense udledningsluft, der er belastet med VOC, som bl.a. bliver produceret under produktion af halvledere. VOC er skadeligt for helbredet og miljøet og kræves mindsket. Et zeolit rotorkoncentrationsanlæg kan reducere omkostningerne meget ved effektivt at koncentrere VOC'erne først.

I halvlederindustrien med produktion døgnet rundt er de største fordele ved et rotorkoncentrationsanlæg høj pålidelighed, jævn strømning af udledningsluft med minimale trykforandringer og betydelige besparelser af driftsomkostningerne. Munters' system koncentrerer store mængder udledningsluft med lave koncentrationer af VOC til en lille koncentreret luftstrøm, som billigt og effektivt kan destrueres i en oxidator. Trykfaldet i systemet er lavt, hvilket gør, at udledningsventilatoren bruger mindre elektricitet.

Munters zeolit rotorkoncentrationssystemer er den ledende teknologi inden for reduktion af VOC. Med flere end 200 systemer i drift verden over inkluderer vores installationsbase nogle af verdens mest respekterede virksomheder. Munters banede vejen for udviklingen af hydrofobisk zeolit til VOC-adsorption. Munters VOC Abatement systemer kan opnå højere end 95% VOC Destruction Removal Efficiency (DRE) og reducerer samtidig brændstofudgifterne med så meget som 30-50% sammenlignet med stand-alone oxidatorer.