Výroba polovodičů

Montážní prostory
Nadměrná vlhkost při výrobě polovodičů a integrovaných obvodů má negativní vliv na proces spojování a zvyšuje výskyt vad. Pro maskování spojů v obvodech se během procesu leptání používají fotocitlivé polymerové látky, zvané fotorezisty. Kvůli svým hygroskopickým vlastnostem tento materiál vstřebává vlhkost, což vede k přerušení nebo přemostění mikroskopických obvodů a tedy k vadě součástky.

Prostory pro výrobu waferů
Spinner během výroby waferu rozpráší na jeho povrch vývojku, takže dojde k rychlému odpaření rozpouštědla z povrchu waferu a jeho povrch se tím zároveň ochladí. Následkem toho dochází na povrchu waferu ke kondenzaci vodní páry ze vzduchu. Tato nadbytečná voda na waferu mění vlastnosti vývojky. Kvůli vstřebávání vlhkosti polymerem také dochází k jeho bobtnání. Regulací relativní vlhkosti se vyloučí možnost, aby se povrch waferu ochladil pod rosný bod okolního vzduchu, takže lze takto zabránit vadám a zničení materiálu.

Fotolitografická místnost
Nadměrná vlhkost ve fotolitografické místnosti způsobí, že oxid křemičitý absorbuje vlhkost, fotorezist bude mít špatnou adhezi a v důsledku namáhání vzniknou trhliny a povrchové defekty.

Rychlejší tvorba vakua
Když je úroveň vlhkosti příliš vysoká, provoz vakuových zařízení, např. kryogenních čerpadel, je zpomalen z důvodu velké zátěže vodními parami. Pokud se úrovně relativní vlhkosti sníží, je možné zvýšit rychlost dávkového zpracování a dosáhnout tak lepší produktivity.

Ochrana EPI zařízení
Vodní páry nebo vlhkost na chladném povrchu epitaxních zařízení kondenzují a způsobují korozi dílů, kvůli které dochází k provoznímu selhávání a zpomalování procesů.

Kromě zajištění optimálních vzduchových podmínek nabízí společnost Munters také řadu produktů Zeol pro snižování emisí VOC, které umí čistit výstupní vzduch s obsahem těkavých organických látek (VOC). Výstupní vzduch z procesů při výrobě polovodičů je znečištěn VOC.  Tyto těkavé organické látky škodí lidskému zdraví a životnímu prostředí a je třeba je odstranit.  Koncentrátor se zeolitovým rotorem dokáže náklady na tento proces podstatně snížit tím, že VOC před jejich odstraněním účinně koncentruje. 

Pro polovodičový průmysl s nepřetržitým provozem jsou hlavními výhodami používání rotačních koncentrátorů zvýšená spolehlivost, vyrovnaný tok výstupního vzduchu s minimálním kolísáním tlaku a podstatná úspora provozních nákladů. Systémy Munters koncentrují velké výstupní objemy s nízkými koncentracemi VOC do menšího koncentrovaného proudu, který může být účinně a s nízkými náklady zlikvidován v oxidačním zařízení. Pokles tlaku v tomto systému je malý, takže ušetří spotřebu energie výstupního ventilátoru.

Systémy koncentrátorů Munters se zeolitovým rotorem jsou přední technologií v oblasti snižování emisí VOC. Aktuálně je v provozu více než 200 systémů a naše instalační základna zahrnuje i nejrespektovanější světové společnosti.

Společnost Munters je průkopníkem ve vývoji hydrofobního zeolitu pro adsorpci VOC. Systémy Munters pro snižování emisí VOC mohou dosahovat více než 95% účinnosti destrukce a odstranění (DRE) těkavých organických látek a zároveň snižovat náklady na palivo až o 30–50 % oproti samostatným oxidačním zařízením.