
多くの場合、半導体や電子機器の製造工程では、綿密に湿度管理された乾燥環境が必要となります。過剰な湿気や水分は、回路の接合点の腐食、マイクロチップ回路面における結露、フォトレジストの接着不具合などの原因となり、その後の半導体組み立て工程において作業不良を招きます。こうした問題を防止するべく、乾燥室やクリーンルームでの適正な作業環境作りにデシカント除湿機が利用されています。
また最適な乾燥環境作りに加え、ゼオールのVOC(揮発性有機化合物)除去用の製品も取り揃えており、VOCを含む排出空気の清浄化に貢献します。